1 电火花线切割加工
电火花加工中的细微电火花加工已得到广泛的应用。WEDG技术的出现，圆满地解决了微细电极的制作与安装问题，使微细电火花加工进入了使用化阶段。在这一方面，日本东京大学增泽隆久等人已加工出Φ2.5mm的微细轴和Φ5mm的微细孔，代表了这一领域的世界前沿。据统计，微细电火花加工再电火花加工中所占的比重正逐年上升，目前已接近10%。
慢走丝线切割新技术不断涌现
慢走丝线切割加工是近年来的主要发展热点。随着无电解脉冲电源、优化能量脉冲电源、去离子水对离子的控制以及一系列精密加工技术的开发应用，使慢走丝线切割加工的发展达到了一个新的阶段。瑞士阿奇夏米尔公司的慢走丝线切割机床能获得轮廓精度1.5um及Ra0.1um的加工质量，能适合精密冲模的加工。随着国产化的实现，这类机床的价格正在快速降低并逐渐广为应用。
Agie公司开发出了Agiecut Vertex双丝EDM机床。该机床带有两个卷轴，可使用不同直径的金属丝同时切割，以提高切割的效率。全部操作自动完成，并有传感器监控其运行。割丝的直径为0.02-0.02mm。
2 电火花加工技术向高精度和高自动化发展
近年来，数控电火花加工技术可以用标准的铜管电极，应用CAD/CAM技术完成二维或三维型面加工，不需要制造成形电极，大大简化了电极的准备，在高精度加工方面，具有良好的前景。
最近日本发明了一种新的电火花成形的加工方法，即在加工液中加入适量的微细硅粉末，或者铝粉、石墨粉均可，可以使表面精度提高数倍以上。目前这种加工方法对应的电火花机床也已经商品化。今后电火花放电技术离不开3种趋势，即高速度化、高精度化和高自动化。
3 机械特种加工
可以分为磨料流动加工、喷水加工、低应力磨削、超声波加工等多种加工方法。
磨料水喷射加工可以胜任精密切割，加工工件无毛刺，其次水喷射加工的另一个优点是它可以触及其他工具不易达到的地方。
超声波特种加工使用刀具生产振动振幅通过传递，液体磨料颗粒得到能力，撞击工件，实现加工。这种技术应用还不广泛，主要用在模具的超生波抛光上。国外正在对超声波磨料加工展开研究。特别对回转式超声波研究，使深孔钻加工质量明显提高，多年来美国一直在进行超声波辅助金刚石刀具加工的研究，日本也正在进行超声波辅助磨削的开发。
4 其他热特种加工
其他热特种加工是指用电子束、激光束、等离子束产生热量来融蚀金属而达到加工的目的。主要有电子束、电火花磨削、激光加工、等离子束加工等加工方法。
电子束加工技术近20年发展迅速，电子束已经能走进精微、焊接、涂膜、熔炼、热处理、曝光、辐射等加工。电子束加工技术将向高功率化、高精度化、微细化、自动化方向发展。
离子束加工可以进行铣刻、溅射涂膜、离子镀和微细加工等，特别IAC技术兼有气相沉积和离子注入两者的优点，可以制备出粘接力很强、结构致密的各种性能优良的功能镀层。等离子弧辅助切削加工能改变硬度40-70HRC金属材料和高温合金材料的局部材质的物理机械性能。 
